輪廓儀 μscan系列機(jī)臺采用模塊化設(shè)計,特點(diǎn)是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量,粗糙度測量,寬度,高度,角度,半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品,而不用通過拼接。μscan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(z方向測量)連用,如confocal point sensor(cf)、autofocus sensor(af)、chromatic white light sensor(cla)、holographic sensor(cp)等。目前主配的是連接cf4激光共聚焦傳感器。cf4激光共聚焦傳感器內(nèi),被照亮的小孔成像在被測量的表面,激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上,只有當(dāng)焦平面和真實(shí)表面的點(diǎn)配對的時候,探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動,使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù),該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。
更新時間:2025-06-25