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μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合ccd的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3d立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

usurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合ccd的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3d立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

輪廓儀 μscan系列機臺采用模塊化設(shè)計，特點是快速測量、不接觸、不破壞、自動化。主要應(yīng)用于材料表面的三維輪廓測量，粗糙度測量，寬度，高度，角度，半徑、粗糙度等二維、三維數(shù)據(jù)分析。能直接測量較大面積的樣品，而不用通過拼接。μscan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器(z方向測量)連用，如confocal point sensor(cf)、autofocus sensor(af)、chromatic white light sensor(cla)、holographic sensor(cp)等。目前主配的是連接cf4激光共聚焦傳感器。cf4激光共聚焦傳感器內(nèi)，被照亮的小孔成像在被測量的表面，激光光束經(jīng)由物鏡迅速上下移動聚焦于待測物上，只有當(dāng)焦平面和真實表面的點配對的時候，探測器才記錄到一個表面信號。因此物鏡得通過小的垂直步位移動，使信號通過位移傳感器的位置移動被測出。根據(jù)特殊的內(nèi)插技術(shù)，該系統(tǒng)的精度能達(dá)到10nm以下。

μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù)，結(jié)合ccd的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3d立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

輪廓儀-形狀測量儀是測量各種精密機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。在軸承行業(yè)中可測量各種滾動體及滾道的素線如：凸出量、接觸角、曲面曲率半徑和基準(zhǔn)件角度等，在機械行業(yè)中可測量各種零件的直線度、線輪廓度、平行度、傾斜度、角度。特別適用于汽車、拖拉機、摩托車活塞的外型的測量。

輪廓儀-形狀測量儀是測量各種精密機械零件素線形狀和截面輪廓形狀的精密設(shè)備。在軸承行業(yè)中可測量各種滾動體及滾道的素線如：凸出量、接觸角、曲面曲率半徑和基準(zhǔn)件角度等，在機械行業(yè)中可測量各種零件的直線度、線輪廓度、平行度、傾斜度、角度。特別適用于汽車、拖拉機、摩托車活塞的外型的測量。