μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合ccd的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞,再將物鏡垂直移動(dòng),以類似斷層攝影方式,可在短時(shí)間(約幾秒)內(nèi)精確量測(cè)物體的三維數(shù)據(jù)。其測(cè)量方式是非接觸式,不會(huì)破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測(cè)量漸變較大的高度時(shí),跟其他方法相比,可以更精確量測(cè)物體高度,建立3d立體影像,優(yōu)勢(shì)相當(dāng)明顯。
更新時(shí)間:2025-06-25