zvb(vibration table:breadboard from zolix)系列是采用韓國(guó)大一氣浮支架,配合卓立漢光的光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面,組合而成的氣浮式隔振光學(xué)平臺(tái),整體高度800mm,分為臺(tái)面和支撐兩部分,臺(tái)面采用三層夾心式結(jié)構(gòu),上臺(tái)面為1cr13鐵磁不銹鋼,上臺(tái)面厚度4~6mm,中間為井字形蜂窩支撐結(jié)構(gòu),底面為碳鋼板,臺(tái)面具有高剛性和非常優(yōu)秀的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝臺(tái)面的平面度達(dá)到0.2~0.05mm/600mm×600mm,
英國(guó)quorum q150t plus 鍍金鍍碳一體機(jī),是一款優(yōu)化設(shè)計(jì)的帶渦輪分子泵抽真空的鍍膜設(shè)備,真空度可達(dá)5x10-5mbar。可以濺射具有超細(xì)成膜顆粒的易氧化金屬,適用于高分辨率成像。同樣地,低散射可得到均勻而致密的無(wú)定形碳膜。