|
����GRACO�M���z�ô��z�C���zϵ�y(t��ng)15989860007
SS60�˜��͆��S�Cе��
���c�������w��60mm���߄��ԺϽ�������؏�(f��)��λ����±0.02��Ť��ƽ��(w��n)�������ŷ�늙C�����M늙C���ԃr�Ⱥ�
������Ҏ(gu��)��
|
ע��1�����b��ʽ�����N��a�����õײ����b����M4��ĸ��b���É��剺ס��(c��)���ۣ�c���ײ��װ��b���Ƀ�(n��i)�����iM4��ᔣ�2�����г̷������˱�ֻ�y(t��ng)Ӌ�˳����г̵ęCе����������Ҫ�ęCе���г�δ�ڱ���������Ո�c�ҹ�˾(li��n)ϵ��3���г�400mm����6�����b�ף��г�400mm���ϣ���400mm����10�����b����4�����w�����鲻��늙C������5������늙C�ֳߴ���ָ��늙C�����x܇�r늙C�ֵ����γߴ���
ע��1�����b��ʽ�����N��a�����õײ����b����M4��ĸ��b���É��剺ס��(c��)���ۣ�c���ײ��װ��b���Ƀ�(n��i)�����iM4��ᔣ�2�����г̷������˱�ֻ�y(t��ng)Ӌ�˳����г̵ęCе����������Ҫ�ęCе���г�δ�ڱ���������Ո�c�ҹ�˾(li��n)ϵ��3���г�400mm����6�����b�����г�400mm���ϣ���400mm����10�����b����4�����w�����鲻��늙C������
MYCRO����ԭ�b�M�ڵ���Ϳ�x����1985���_ʼ���҂�����ṩ�����댧(d��o)�w�����坍Ϳ��̎�������ˇ����˾����WSϵ�и�����D(zhu��n)Ϳ��ϵ�y(t��ng)��Ŀǰ�͑��ѱ鲼ȫ�������z�C�кܶ�N�Q�^��Ӣ�Ľ�Spin Coater����Spin Processor���ַQ˦�z�C�����z�_�����D(zhu��n)Ϳ�z�C�����D(zhu��n)ͿĤ�C�����D(zhu��n)Ϳ�әC/���D(zhu��n)Ϳ�Ӄx�����D(zhu��n)Ϳ���C�����D(zhu��n)��Ĥ�C�����D(zhu��n)Ϳ���x�����D(zhu��n)ͿĤ�x����Ĥ�C ��Ϳ�x���M�ڄ��z�C���_ʽ���z�C������҄��z�C�����z�C�r�������z�CƷ�ơ����A���z�C
��ɫ���� �����Ƃ��������Ϳ�x; �� ��Ȼ�۱�ϩ���ط������|(zh��)��(g��u)��;�� 216������318����370�������Nǻ�w��С;�� ���x���_��ʽ�������ڝ�վ����������ϵ�y(t��ng)�IJ�ͬ��(g��u)��;�� ����D(zhu��n)�ٿ��_12000RPM;�� ���̵Ĕ�(sh��)�a��������WS650�Ϳ�������;�� �������ɞ��Ԅӵ��z��;Ո����(j��)�����H��Ҫ�Ĵ�С�Ͳ��|(zh��)�x������(y��ng)����Ϳ�x��̖�� WS-650-23NWS-650-8NWS-650-15N���x������Ԅӵ��zϵ�y(t��ng)UD3��EBR���Aȥ߅ϵ�y(t��ng)UD-3B��TFL�ط�����(n��i)�r��ᘌ���ͬ��Ƭ���|(zh��)�ɶ����бP�����c��עϵ�y(t��ng)���m���ڴ������z�����D(zhu��n)Ϳ�әC/��Ϳ�x���ʵ��ٶȿ��ƣ��҂����_ʽ���D(zhu��n)Ϳ�әC/��Ϳ�x�C��(sh��)�a�ٶȿ��������õ���һ����Ӌ��(sh��)λ�Ĺ�W(xu��)���a��ݔ�����ŷ��R�_�����������O(sh��)���c����С��0.006%����������NIST����y���˜ʣ����o��У�������D(zhu��n)Ϳ�әC/��Ϳ�x��(n��i)����20��51������λ����ք�ģʽ���dz������O(sh��)���ٶȺͼ��ٶȳ���Σ� 1~10000RPM�ķ�(w��n)���D(zhu��n)�ٿ����S���O(sh��)������Ϳ�x�r�� ��Ϳ�x����ԭ�� ʲô��Ϳ�x�� ����laurell���z�C �ɶ���Ϳ�x ��Ϳ�x�Ǽҵĺ� ��Ϳ�x����������Ҫ��Ԕ���Įa(ch��n)Ʒ�Y����ԃ��Ո�c�~���Z���g(sh��)����˾�Ї��I�N����(w��)���ą^(q��)���k����(li��n)ϵ!
���z�C(Ӣ������Spin Coater)�m�ϰ댧(d��o)�w��Ƭ�Ą��z�Ĥ Ԕ����B�� ���z�C(Ӣ������Spin Coater) �ИI(y��)�Q:���z�_,˦�z�C,Ϳ�z�C,�Ĥ�C,Ϳ�әC Ʒ�� LAURELL��̖ WS-650-23N WS-650-8N WS-650-15N�a(ch��n)Ʒ����: WS650�̈́��z�C�m��(y��ng)�ڰ댧(d��o)�w��Ƭ,�d��Ƭ,��Ƭ,��Ƭ,ITO��(d��o)늲����ȹ�ˇ,�ư�ı���Ϳ��. ���z�C��(w��n)�����D(zhu��n)�ٺͿ��ٵĆ���,���Ա��C�댧(d��o)�w���z��ȵ�һ���Ժ;�����,�@����WS650�;����z�C�����c. ԓ�C���@�����ȡ���S���ʩ: (һ)ԓ�O(sh��)������������M���g(sh��). (��)�D(zhu��n)����12000�D(zhu��n)/�ַ�����(n��i)�dz���(w��n)��. (��)�����z�C����PLC�������ٶȟo�O�{(di��o)��(ji��).�چ���֮��,һ�㹤ˇ���Ե����\�D(zhu��n),ʹ�z���_,Ȼ���Ԅ�׃�������\�D(zhu��n).���E�D(zhu��n)�ټ�����(y��ng)�ĕr�g�քe���{(di��o). (��)�����z�C����ֱ���(q��)���R�_�����^10���ʹ�Úvʷ(��)"��Ƭ"����늴��y���ƚ�·,�@���m����ˮ���Ĺ�ˇ,һ����ÿ�ͬ�r���ׂ����z�C����,�����Ч��. (��)�������{(di��o)��(ji��)���z�r�g,��Ӌ�r��(sh��)���@ʾ (��)�ڰ��b�Y(ji��)��(g��u)��,��ȡ�˜p���ʩ,���C�����\�D(zhu��n)�r�����ܵ�,���CͿ���������,���Cͨ�^�{(di��o)��(ji��)�D(zhu��n)���{(di��o)��(ji��)Ϳ�����. (��)���z�C����ձ�ʹ��. ����ָ�ˣ�
�������R�_�(q��)�����D(zhu��n)����Mz�߾�����Ϳ���R�_�D(zhu��n)�ٷ���:50~12000RPM ��ע 50RPM����С��(w��n)���D(zhu��n)�٣������ٶ�:13000RPM/S;�D(zhu��n)���`��:��±0.5RPM @8000RPM NIST�˜��J�C�����z������:��1% @6 inch Wafer
�Դ늉���220V/ 50Hz 늙C���ʣ�200W �m�ã�Φ10-Φ150mm��Ƭ���������ϵȄ��z. �w�eС,�����p,��������
�͑�:���������W(xu��),��ۿƼ���W(xu��),��۳��д�W(xu��),������W(xu��),���A��W(xu��)��(f��)����W(xu��),�|�ϴ�W(xu��),�������I(y��)��W(xu��),���K���I(y��)��W(xu��),�Ϻ���W(xu��),�����Ƽ���W(xu��)����ӿƼ���W(xu��) ���Ї����|(zh��)��W(xu��),�B�T��W(xu��),����W(xu��)���F�ݴ�W(xu��)�����ώ�����W(xu��),����Ӎ�W(xu��)Ժ,���������W(xu��),����ʯ�ͻ����W(xu��)Ժ,�ؑc���ϴ�W(xu��),�Ї����|(zh��)��W(xu��)������������W(xu��),�����I���I(y��)��W(xu��),�����I���̴�W(xu��),��h��W(xu��),������ͨ��W(xu��),�Ĵ���W(xu��),�Ĵ�������W(xu��),ͬ����W(xu��),����W(xu��),���Ͻ�ͨ��W(xu��),�Ͼ���W(xu��)���Ͼ����I(y��)��W(xu��)���A�пƼ���W(xu��)�����ϴ�W(xu��)�����ݴ�W(xu��)�ȡ��Ї��ƌW(xu��)Ժ�Ϻ������}�о������A�鼯�F��TCL���F��������У���댧(d��o)�w����ИI(y��).����Ҫ�Ј� �Ї���������n�� ���¼��������� �ȇ��� �a(ch��n)Ʒ��;�� WS650�̈́��z�C�m�ϰ댧(d��o)�w��Ƭ,��Ƭ,��Ƭ,��(d��o)늲����ȹ�ˇ,�ư�ı���Ϳ��. Ո�c�~���Z���g(sh��)����˾ �Ї��I�N����(w��)����(li��n)ϵ
����ʽ�����x���wȥ�z�C ��ʽ�����x���wȥ�z�C
�a(ch��n)Ʒ��(y��u)�ݣ�
ȥ�z���ُص�
����Ƭ�o�p��
�������ΰ�ȫ
�O(sh��)Ӌ�o�����^
�a(ch��n)Ʒ�ԃr�ȸ�
�a(ch��n)Ʒ��;��
�߄����x��ע�����z��ȥ��
��ɷ����gǰ���ȥ���z
MEMS�Р����ӵ�ȥ��
ȥ�����W(xu��)������
���������ˇ
SU-8�z��ȥ����
MEMS��ˇ�н�(j��ng)���õ�SU8����z��Ȼ��SU8�dz���(w��n)��������������ȱ�c����ȥ�z���y�����˽�QSU-8����z��ȥ�z���}���҂��������]��Alpha Plasma���I(y��)��SU-8�����x���wȥ�z�C��ԓ�O(sh��)����÷������w��ȥ�z��ˇ�����÷������w�cSU-8�z�Ļ��W(xu��)����(y��ng)�����F(xi��n)����ȥ��SU-8���ܡ�ͬ�r�O(sh��)����߀�����˜ؿ�ϵ�y(t��ng)��ȥ�z�^���Ќ��r�לضȵĿ��Ʊ��C�˸���Ƚ��ٽY(ji��)��(g��u)������������K���F(xi��n)���|(zh��)��MEMS�������Ƃ䡣SU-8ȥ�z�������ָ�˞�1μm/min������п��_���ׂ��ס�����@��I(y��)��SU8ȥ�z�C��MEMSȥ�z��ˇ�������x����
������ͬ���Դ�������˾��PHILIPS�w�����طN��Դ�Ї����������ṩԭ�b�M���w����PHILIPS�t�⾀���ܣ��r��(y��u)�������ڰ댧(d��o)�w�Ƴ����켈��������ʳƷ������̫��ܹ��늳������u�t��ӡˢ�������z�W(w��ng)ӡˢ�����D(zhu��n)ӡ��̫�Ĥ���yԇ��Ь�C�����ܿ��{(di��o)�����庸�����ᣬ�t�⾀�����x���D�Ƽt��⯟�x���댧(d��o)�w���I(y��)�П���Ӿ�Ƭ������PETPƿ�ӣ��������O(sh��)�����������ϣ��C��܇�����и����������t(y��)���ϵđ�(y��ng)������(f��)ӡ�Cɫ����λ��ӡˢ�·�װ庸�ϵ��ڻ���ʳƷ�ӟ�������ȵȡ�
���Ɇ�����ҪՈ��늣�0752-2227603/2227601
�t�⾀���ܵă�(y��u)�c��
1.�u�ؼt�⾀�������ؿ������ӕr�g2���ԃ�(n��i)�������Ƽӟ�ض���
2.�����ļӟ᷽ʽ,����������,����������坍.
3.��Ч�ʸ�,�̲��t�⾀���ܰl(f��)���IJ��L�ӽ���Ҋ��IJ��L,���й��ݗ��Ч��(y��ng),���ӟ�՚�,���������L���t�⾀��Ч�ʸ���.
4.�ҹ�˾�a(ch��n)Ʒ,�����L,�u�ض̲��t�⾀���܉���5000С�r,�в��t�⾀���܉���15000С�r.
5.���Թ����ܶȴ�,����������300W/cm,�ӟṤλ�������ĸ���,�pС�O(sh��)����ռ�w�e.
PHILIPS R95E INF �t�⾀�� 100W �t�⾀�ί��x�ß��� �W���M��
�w����PHILIPS INF PAR38E �t�⾀�� 150W �t�⾀������ �W���M��
PHILIPS IR150R R125 �t�⾀�� 150W �p�p��ʹ,���L�� �W���M��
PHILIPS IR375R R125 �t�⾀�� 375W ����, �չ�ԡ �W���M��
�w����PHILIPS 13169X/98 500W ���庸�a�Cϵ�Ќ��üt�⾀����
�w����PHILIPS 13195Z/98 1000W����o�U���庸�a�C�t�⾀����
PHILIPS 13195X/98 1000W�o�U���庸�a�Cϵ�мt�⾀����
PHILIPS 13713Z/98 1000W ������X���Ɵo�Uȫ���L�������t�⾀��
�w����PHILIPS 13713X/98 1000W ��X���Ɵo�Uȫ���L�������t�⾀����
�w����PHILIPS 14102Z 1000W 360 SMT�����O(sh��)��t�⾀����
PHILIPS 13561Y/00 1200W SMT���әC�t�⾀������
�w����PHILIPS 13568Y/00 1600W SMT�������C�t�⾀����
PHILIPS 13393Z 1300W 790 �������C�t�⾀����
�w����PHILIPS 14103Z/98 2000W ���W(xu��)����(y��ng)���ӟ��տs �t�⾀����
PHILIPS 13213Z/98 2000W SMT�NƬ�C�t�⾀����
�w����PHILIPS 13168V 2000W �t�⾀����
PHILIPS 13168Z/98 2000W �w���Ѽt�⾀����
�w���Ѽt�⾀����PHILIPS 13168X/98 2000W
PHILIPS�w����13245X/98 2000W SMT�NƬ�O(sh��)��t�⾀����
�w����PHILIPS13230X/98 3000W�t�⾀����
PHILIPS�w����1600T3/CL 1600W�c�z�C�t�⾀����
�w����PHILIPS 2500T3/CL 2500W�o�U�������üt�⾀����
PHILIPS�w����14118V 6850W�o�U���庸�t�⾀����
�w����PHILIPS 3200T3/CL 3200W���庸�t�⾀����
3800T3/CL 3800W 1062 PHILIPSЬ�C���ý��t���h�t��ӟ��
5000T3/ICL/HT 5000W 731 PHILIPS�W���M�ڻ������t�⾀����
15007Z 235V 1000w���S����� ���t�⾀僽��S���
14107Z 3000W 230V �w����PHILIPS�t�⾀����
�w���Ѽt�⾀����PHILIPS�t�⾀����
17012X 1500W 235V PHILIPS�t�⾀����
2500T3/CL 2500W 480V PHILIPS�t�⾀����
13934Z/876L 2000W 240V PHILIPS�t�⾀����
2500T3 2500W 480V �w����PHILIPS�t�⾀����
13250Z/876 1500W 240V�w����PHILIPS�t�⾀����
13765X/98 2000W 240V�w����PHILIPS�t�⾀����
13123Z/876 1500W 240V�w����PHILIPS�t�⾀����
13765X 2000W 240V �w����PHILIPS�t�⾀����
13837z/876 1100W �w����PHILIPS�t�⾀����
13123Z/876 1500W 240V�w����PHILIPS�t�⾀����
13846Z/876 1500W 200V�w����PHILIPS�t�⾀����
13245X 2000W 240V �w����PHILIPS�t�⾀����
13123Z/876L 1500W 120V PHILIPS�t�⾀����
15106X 500W 235V �w����PHILIPS�t�⾀����
15106Z 500W 235V �w����PHILIPS�t�⾀����
15010Z 1500W 120V �w����PHILIPS�t�⾀����
15004Z 1500W 235V�w����PHILIPS�t�⾀����
15005X 235V 2000W �w����PHILIPS�t�⾀����
15005Z 2000W 235V �w����PHILIPS�t�⾀����
15013X 2000W 400V �w����PHILIPS�t�⾀����
15008X 1000W 235V �w����PHILIPS�t�⾀����
15009Z 1000W 235V�w����PHILIPS�t�⾀����
15012U 3000W 235V�w����PHILIPS�t�⾀����
�w����PHILIPS�t�⾀����13230X/98 3000W
�w����PHILIPS�t�⾀���� 1600T3/CL 1600W
�w����PHILIPS�t�⾀����2500T3/CL 2500W
�w����PHILIPS�t�⾀����14118V 6850W
�w����PHILIPS�t�⾀���� 3200T3/CL 3200W
�w����PHILIPS�t�⾀����3800T3/CL 3800W
�w����PHILIPS�t�⾀����5000T3/ICL/HT 5000W
�w����PHILIPS�t�⾀����15007X 1000w
�w����PHILIPS�t�⾀����14106Z/98 2500W
�w����PHILIPS�t�⾀����14111Z/98 3000W
�w����PHILIPS�t�⾀����15028R 1300W