(li��n)ϵ�҂��rՈ��֮���̎������݆���x�r�� ���̖L0031526
Jonln�������������Ʒ�|�� ���݆���x�r�� �aƷ����ǰ���������ۺ���\��͑��ṩ�M��ĮaƷ���gӭ�����ԃ!
���݆���x�r�� ����(sh��)��
�x���ɵ���ʽ�Ğ�����ʽ���������˂��IJ������T������CMOS����CCD��ʡȥ�D��������|�����õ͉��Դ����߉��Դ����(ji��)ʡ�˃x���ɱ����Ç��a�Ĵ�����M�ډ���մ�����Q���P�I�������M���y�}���������ԄӲ��������У��������ͬ�r�����˾ֲ��Ŵ����S���w�D�����������^��ƽ��Ȝy��������130?1nm�y�����؏��ԣ�sRa≤0.5nm�y�����ȣ�8nm���R���ʣ�40X��(sh��)ֵ����0.65�x��ҕ��Ŀҕ��f0.25mm�z��0.13X0.13mm�x���Ŵ�(sh��)Ŀҕ��500X�z��Ӌ��C��Ļ�^�죩��2500X�������y����ꇣ�1000X1000���سߴ磺5.2X5.2nm
���݆���x�r�� �aƷ�f����
���݆���x�đ��÷����V������Ҫ���ڜy�����N���ܼӹ����������^���S�Y���������ֲڶ����������Ŀ̾����̲۵���Ⱥ�僌ӵĺ�ȵ������w���f�������K����W�������Ĵֲڶ����˳ߡ��ȱP�Ŀ̾��������ŵIJ��νY����僌Ӻ�Ⱥ�僌�߅��̎�ĽY����ò���ţ��⣩�P�����^����Y���y������Ƭ����ֲڶȼ����ψD�νY���y���ȵ������ڃx���y�����ȸ����؏��Ժ������зǽ��|�����S�y�������c��������Ӌ��C���ƺͿ��ٷ�����Ӌ��y���Y�������x���m���ڸ����yԇ��Ӌ���о���λ�����V��I(y��)Ӌ���������ܼӹ�܇�g�ߵ�ԺУ���ƌW�о���λ�ȡ�
����˾��������߿Ƽ��aƷ�������ɞ���ȿ��Ѓx�������̡�ͬ�r���҂���ǰ���������ۺ�ȫ�̞����������gӭ�����ԃ!
���݆���x ����(sh��)��
���݆���x �aƷ�f����