| 型 號 | XP-703D |
| 檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙、硅烷、氫氣等） |
| 檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |
| 型號 | XP-703D |
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| 檢測對象氣體 | 半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） |
| 檢測原理 | 熱線型半導(dǎo)體式 |
| 采樣方式 | 自動吸引式 |
| 可檢測濃度 （單位：ppm） | 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 |
| 檢測表示 | 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 |
| 應(yīng)答速度 | 10秒以內(nèi) |