| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
����������span�� | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
����������psi�� | | | | | ||
�����ո�䛣� | | | ±2.0”ˮ�� | | ||
ݔ��늉� | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ ��(bi��o)���c | 200sccm | 25sccm | 2”ˮ�� | 1000sccm | ||
���c늉� | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
���cƯ�� | | | | | ||
+25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
+25~+85?C | | | | | ||
ݔ��늉�Ư�� | | | | | ||
Max | | | | | ||
+25~-25?C | -4% �x��(sh��) | ±5.0% �x��(sh��) | +24.0% �x��(sh��) | -5% �x��(sh��) | ||
+25~+85?C | +4% �x��(sh��) | ±5.0% �x��(sh��) | -24.0% �x��(sh��) | +5% �x��(sh��) | ||
�؏�(f��)��& �t��Max | ±0.5% �x��(sh��) | ± 1% �x��(sh��) | ±0.5% �x��(sh��) | ±1% �x��(sh��) | ||
| Min Typ. | Max. | | |||
�Դ��VDC�� | 8.0 10±0.01 | 15 ��2�� | | |||
���ģ�mW�� | 50 | 60 | | |||
����(y��ng)�r�g��ms�� | 1.0 | 3.0 ��1�� | | |||
�������psi�� <, /TD> | | 25 | | |||
�����ض� | -25~85?C | | | |||
����ضȣ�?C�� | -40~90?C | | | |||
�_����5drops,6axis�� | 100g��ֵ��5drops,6axis�� | | |
���]��̖ | ���� |
AWM3100V | +200SCCM |
AWM3201CR | ±0.5 Ӣ��ˮ |
AWM3200V | ±2 Ӣ��ˮ |
AWM3300V | +1000SCCM |
������|(zh��)���������ǻ��ښ������^����Ԫ���ğ��ݔ����ԭ����������ݔ��늉����������^��(n��i)������Ԫ�����M(j��n)���ڵĿ՚���������w�|(zh��)�������ڵ��Y(ji��)��(g��u)���g(sh��)����������(n��i)��һ�K���صĹ�оƬ-��������Ĥ�·���l(f��)�ἰ������Ԫ���ğ���x���·�����·�����^оƬ�Ě������١��`����푑�(y��ng)���l(f��)���w�ɂ�(c��)������Ԫ��߀��ָʾ�������^�ķ���������У���ĺ�Ĥ�·����Ĥ�����ÿ��Ԫ����һ�µ���������ʽ�����|(zh��)�����������ß�����象Ĥ-�����ɱ�Ƭ�����ڽ^�����Ϻ�Ĥ�·�����������Ғ������ڹ�Ƭ���g�ն����γɘ����҈D�@ʾ��оƬ�����_�İ����ښ���ͨ�������������И��µĹ�Ƭ���g�ն��Ŀ՚��g϶�ṩ�l(f��)���w�͟���Ԫ��֮�g�ğ���x����ʽ�����|(zh��)����������С�ߴ�͟���x�����ښ����Ŀ���푑�(y��ng)�����`���ȡ������O(sh��)Ӌ�Ě��w���_������(d��o)�Ϳ��ƚ������^�������ܷܺ���İ��b��ӡˢ��·�������p��˹�D늘���ƚ����Ĝy��һ���ṩ�]�h(hu��n)�İl(f��)������������һ�������p����Ԫ�����l(f��)�������ƾ�·�������܇��h(hu��n)���ض�׃���������ݔ�����h�pС����С�̶����˾�·���ְl(f��)�����ضȺ㶨�����܇��h(hu��n)���ض�160?C���܇��h(hu��n)���ض���оƬ�ϵğ������y����֪����˹�D늘�IJ�����S�Դ늉�����׃���Ă�����ݔ��늉��������еĻ҉mƽ�����^оƬ���棬������w��Ч��(y��ng)�����������������坍���·��ʹ��һЩ�\���п��ܴ��ڵ���Ⱦ���p�������҂��ļ��ى���ԇ��У��ڵ���50sccm�ٶȚ����ĵ��͵Ĺ��I(y��)�h(hu��n)�����������|(zh��)�����������_(d��)��20 ����A(y��)�y���������ڻ҉m������оƬ߅��������Ķ����ڵ����¿��Ժ��ε�ʹ���^�V�W(w��ng)����Q��ʹ��С��źߚ����迹���^�V�W(w��ng)�ɵõ����^�VЧ��- ��(d��ng)�����҉m�ѷe���^�V�W(w��ng)�ϕr���C���迹�����@��׃�����ɲ���һ����ʹ�õ�5 ��ŵ��^�V�W(w��ng)�����c��* ���ӹ����g(sh��)* �͚����ٶ�����-0.1sccm* �z�y����200 ��/ ���* ����푑�(y��ng)��������p�����߷���(y��ng)�؏�(f��)��* ������g�ṩ��������һ����* �͉������_�y����0.001-4”ˮ���������\�ã�* HVAC ���L(f��ng)�T�������* ���w�����x* ����տ���* �^�̿���* �t(y��)�ú����x�ͷλ����x* �����(y��ng)* �������ƃx* ���w��(bi��o)��ע�⣺AWM ��������������Һ�w�|(zh��)���y������(d��ng)���^���ٵ�Һ�w�����r�����������ܕ���Ɖ���
AWM2000ϵ�К��w����������: ��������AWM2000ϵ�О�oԴ�����������ɂ���˹�D늘�һ�����]�h(hu��n)�İl(f��)������·��һ�����p�����·. �����������p��������С��������H���w�|(zh��)���������С���������0~30sccm ��0~1000sccm �������ܳ������Ĥ����25PSI �����������Ӱl(f��)�������Ƽ����И�·����·�����������ض�:-25~+85�� ���������늉�:10VDC ������ݔ��늉�:���50mV ��������������AWM3000ϵ�К��w����������: ��������AWM3000 ϵ����ݔ����1-5V ��4~20mA�Ě��w�|(zh��)��������������������������У����һ�µĻ��Q�ԡ������y�����ٿ���1.0LPM �������ܳ������Ĥ����25PSI �����������ض�:-25~+85�� ���������늉�:10VDC ����������������AWM40000ϵ�К��w��������������������AWM40000 ϵ�а��������Ŵ�ͷŴ�/ ��̖̎������̖�����w������������һ���ɼӟ����c�ض�����Ԫ���M�ɵı�Ĥ�����늘�ʽ�Y(ji��)��(g��u)��ԓ늘�ʽ�Y(ji��)��(g��u)�����^оƬ�Ŀ՚���������w�������`���Ϳ��ٵķ���(y��ng)��AWM43600V ��6SLPM ����������Ҫ�����c�ǣ����� ���������ӹ����g(sh��) �������z�y����0-6SLP �����������ضȿ���125�� �������ɳ���150PSI�Ĺ�Ĥ��������������푑�(y��ng)��������p���� ���������c�͝M���̸߷�(w��n)���� ���� ������(y��ng)�È��� �� ��|���C���t(y��)�ú����C�ͷλ����x�����w�z�y�O(sh��)�������w��(bi��o)��������������AWM5000 ϵ�К��w������������������AWM5000 ϵ�О����������������⚤�����Ԝy����20 ��/��犣����2.25"ˮ�Ě���. ������оƬֱ���c�������|�����p��������ͨ�����·����������`����ÿ��AWM5000ϵ�Юa(ch��n)Ʒ�������������Ŵ�` ��������` �ض��a���͚��w��(bi��o)�������w��(bi��o)��ͨ�^����У���õ������N�����ӿڿ��x��������������O(sh��)Ӌ�������h(yu��n)�̰��b����������У��CO2��N2 ���Ę�(bi��o)���������ܳ���50psi�Ĺ�ģ�������������늉�:10VDC,ݔ��:5VDC �����������ض�:-20~+70�� ����������������AWM700 ϵ�К��w������������������AWM700ϵ������������������ṩ���ھ������y������һ�������O(sh��)Ӌ����·���b���@�N�������y������������(bi��o)��(zh��n)200 ��(bi��o)��(zh��n)��/ ��犣�200SLPM����ͬ�r��(d��o)��1 Ӣ��ˮ���ĉ�������ֵ��AWM720P1���F(xi��n)��С���b�µĴ�����������AWM720P1��һ��6ms����(y��ng)�r�g��10Vֱ����늣���늃H60mW���o�������Ϸ��b���ɳ����^����25PSI������Ӱ�ָ��(bi��o)����������AMP�����B�Ӽ��ṩ�˵�늚��B�����˂�����Ҳ���m���ڱ�y�O(sh��)���늳ع���O(sh��)�䡣AWM700ϵ�Ђ���������Ҫ�Ǟ��t(y��)���C�Ј��_�l(f��)�������ԝM���S���t(y��)���ͷ����x���đ�(y��ng)�����������������������ض�:-25~+85�� ���������늉�:10VDC,ݔ��:5VDC �������ܳ���25psi�Ĺ�ģ����