熱式氣體質(zhì)量流量計 --------國產(chǎn)系列
原理闡述:
熱式氣體質(zhì)量流量計是利用熱傳導原理測量氣體質(zhì)量流量的儀表。該儀表的傳感器由兩個基準級熱電阻(鉑RTD)組成。一個是質(zhì)量速度傳感器T1,一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器T2。當這兩個RTD置于被測氣體中時,其中傳感器T1被加熱到氣體溫度以上的一個恒定的溫差,另一個傳感器T2用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體質(zhì)量流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器T1的溫度下降,要維持T1、T2恒定的溫度差,T1的加熱功率就要增大。根據(jù)熱效應(yīng)的金氏定律,加熱功率P、溫度差△T(T1-T2)與質(zhì)量流量Q有確定的數(shù)學關(guān)系式。 P/△T=K1+K2 f(Q)K3
K1、K2、K3是與氣體物理性質(zhì)有關(guān)的常數(shù)
應(yīng)用:
特點:
產(chǎn)品類型:
熱式氣體質(zhì)量流量計由一體式流量轉(zhuǎn)換器、流量傳感器組成。按流量傳感器的型式分為:插入式和管段式熱式氣體質(zhì)量流量計 插入式傳感器可在線安裝、在線維護。安裝過程是首先在管道外壁上焊接帶有外螺紋的底座,在底座上安裝1 寸不銹鋼球閥,而后用專用工具將管道打直徑為22mm的孔,打孔完畢后卸下專用工具,將傳感器安裝在閥門上并將傳感器插入到管內(nèi)中心(傳感器的插入位置出廠時已確定)。 如果管道材質(zhì)不能焊接(如鑄鐵、PVC、玻璃鋼、水泥等),可以用我公司生產(chǎn)的專用卡具,將傳感器固定在管道上! 〔迦胧絺鞲衅鬟m用管道直徑:DN80~6000mm(更大管徑訂貨時說明)。
管段式熱式氣體質(zhì)量流量計出廠時已配備和現(xiàn)場管道內(nèi)徑相同的工藝管道。與現(xiàn)場管道的連接方式為法蘭連接或螺紋連接。法蘭標準符合國標GB/T9119-2000。 管段式傳感器適用管道直徑:DN15~2000mm! 傳感器材質(zhì)為不銹鋼,管道材質(zhì)為碳鋼或不銹鋼,特殊材質(zhì)訂貨時說明
一體是流量轉(zhuǎn)換器:
分體式轉(zhuǎn)換器:
為更方便的觀測數(shù)據(jù)和便于遠距離的設(shè)定參數(shù),可另外選用分體轉(zhuǎn)換器。分體轉(zhuǎn)換器有壁掛式和盤裝式兩種。
采用(ARM Cortex™-M3)32位高速運算工業(yè)控制、12位的AD轉(zhuǎn)換芯片,運算速度更快、精度更高。
2.8寸真彩屏顯示,純觸摸屏控制,全中文菜單,友好體驗的UI設(shè)計。
具有1000條報警時間記錄、報警濃度值記錄;1000條發(fā)生故障、故障解除的時間記錄;1000條開機、關(guān)機時間記錄?善帘伟l(fā)生故障的探測器。可遠程對探測器進行智能的零點和靈敏度校準?蓪(yīng)各探測器進行測量范圍,單位和靈敏度的設(shè)置。可內(nèi)置5.2AH/12V備用電源。
電源輸入:100~240VAC 50/60HZ
測量范圍:0~10000(單位值可任意設(shè)定)
信號輸入:4~20mA信號
信號輸出:RS485總線信號
輸出容量:輸出4組(智能編程組合控制的)無源、常開觸點信號。
功 耗:<12W。
報警方式:聲、光報警,數(shù)字顯示。
傳輸距離:與氣體探測器連接時(注:氣體探測器工作電壓為12V~36,一個可燃氣體探測器大消耗100mA電流,毒性類大消耗50mA電流),R回路電阻=(V控制器穩(wěn)定電壓-V探測器小工作電壓)/I探測器大消耗電流。根據(jù)公式計算得到與可燃氣體探測器連接回路大電阻為120歐姆,與毒性類探測器連接大回路電阻240歐姆。
江蘇鼎升儀表有限公司-氣體羅茨流量表139-1519-1119 聯(lián)系人:柏經(jīng)理
氣體羅茨流量表應(yīng)用領(lǐng)域:
氣體羅茨流量表常用于餐飲、賓館等行業(yè)的燃氣商業(yè)核算,輸配管網(wǎng)燃氣計量,燃氣調(diào)壓站計量,工業(yè)和民用鍋爐等燃氣計量,也可用作丙烷、氮氣、工業(yè)惰性氣體等各種無腐蝕性氣體標準流量計。
氣體羅茨流量表簡介:
氣體羅茨流量表是集流量、溫度、壓力檢測功能于一體,并能進行溫度、壓力自動補償?shù)男乱淮髁坑嫞摿髁坑嫽谌莘e式測量原理,用于精確計量流經(jīng)封閉管道的氣體總量。流量計基型由羅茨流量傳感和流量積算儀(二次表)兩部分組成。該流量計采用先進的單片機技術(shù)和微功耗高新技術(shù),能對被測介質(zhì)進行壓力機內(nèi)設(shè)置和溫度自動跟蹤補償運算,并直接顯示標準狀態(tài)下(P0=101.325kPa,T0=293.15K)的體積總量。 精確度高,重復(fù)性好。內(nèi)部轉(zhuǎn)子經(jīng)精密加工和平衡測試,無接觸旋轉(zhuǎn),良好的油潤滑,確保流量計精度不變,工作壽命長。
流量計前后不需要直管段,可以安裝在環(huán)境狹窄的場合。
始動流量小,量程比寬,適合于計量符合變動大的氣體流量。
計量精確度不受壓力和流量變化的影響,性能穩(wěn)定,壽命長。
通用性好,所有羅茨流量傳感器均可使用通用的附件。
配置RS-485通訊接口和IC卡專用信號集中器配套,并可通過GPRS/CDMA、internet、電話網(wǎng)絡(luò)組成遠程數(shù)據(jù)采集機監(jiān)控系統(tǒng),便于數(shù)據(jù)的集中采集和實時管理。
電路采用表貼安裝工藝,結(jié)構(gòu)緊湊、抗干擾能力強、可靠性高。
采用高性能微處理器和現(xiàn)代數(shù)字濾波技術(shù),軟件功能強大,性能優(yōu)越。
采用浮點運算和五段儀表系數(shù)自動修正,并有故障自診斷和報警功能。
采用微功耗高新技術(shù),內(nèi)、外電源供電工作,整機功耗低,僅憑一節(jié)2#3.6VDC鋰電池供電,可連續(xù)工作五年以上。
就地顯示流量值,并帶多種信號輸出功能。
采用高對比度的液晶顯示器,可顯示標準累積流量、標準體積流量、工況體積流量百分值、介質(zhì)溫度、壓力值和電池用量百分量,并帶中文提示符。
具有實時數(shù)據(jù)存儲功能,防爆標志為ExibllCT4 GB。流量計外殼保護等級為IP65。
氣體羅茨流量表產(chǎn)品優(yōu)勢:
■流量計前后不需要直管段,可以安裝在環(huán)境狹窄的場合。
■始動流量小,量程比寬,適合于計量符合變動大的氣體流量。
■計量精確度不受壓力和流量變化的影響,性能穩(wěn)定,壽命長。
■通用性好,所有羅茨流量傳感器均可使用通用的附件。
■配置RS-485通訊接口和IC卡專用信號集中器配套,并可通過GPRS/CDMA、internet、電話網(wǎng)絡(luò)組成遠程數(shù)據(jù)采集機監(jiān)控系統(tǒng),便于數(shù)據(jù)的集中采集和實時管理。
■電路采用表貼安裝工藝,結(jié)構(gòu)緊湊、抗干擾能力強、可靠性高。
■采用高性能微處理器和現(xiàn)代數(shù)字濾波技術(shù),軟件功能強大,性能優(yōu)越。
■采用浮點運算和五段儀表系數(shù)自動修正,并有故障自診斷和報警功能。
■采用微功耗高新技術(shù),內(nèi)、外電源供電工作,整機功耗低,僅憑一節(jié)2#3.6VDC鋰電池供電,可連續(xù)工作五年以上。
■就地顯示流量值,并帶多種信號輸出功能。
■采用高對比度的液晶顯示器,可顯示標準累積流量、標準體積流量、工況體積流量百分值、介質(zhì)溫度、壓力值和電池用量百分量,并帶中文提示符。
■具有實時數(shù)據(jù)存儲功能,防爆標志為ExibllCT4 。
■流量計外殼保護等級為IP65。
氣體羅茨流量表技術(shù)性能指標:
3.1流量表結(jié)構(gòu)圖、由5個部分組成(見圖)
1、智能流量轉(zhuǎn)換器 2、進口軸承 、3、壓力傳感器 4、溫度傳感器 5、共軛轉(zhuǎn)子
3.2氣體羅茨流量表(機械)工作原理
智能氣體羅茨流量表,主要由殼體、共軛轉(zhuǎn)子、進口軸承、計數(shù)器和智能流量轉(zhuǎn)換器等部件構(gòu)成。裝于計量室內(nèi)的一對共軛轉(zhuǎn)子在流通氣體的出入口壓差(P入>P出)作用下,通過精密加工的調(diào)校齒輪使轉(zhuǎn)子保持正確的相對位置。轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與殼體、轉(zhuǎn)子與墻板間保持最好工作間隙,實現(xiàn)了連續(xù)的無接觸密封。轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)動一周,則輸出四倍計量室有效容積的氣體,轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)數(shù)通過磁性密封聯(lián)軸裝置及減速機構(gòu),傳遞到智能流量轉(zhuǎn)換器,從而顯示輸出氣體的累計體積量。
3.3智能流量轉(zhuǎn)換器的工作原理
智能流量轉(zhuǎn)換器由溫度和壓力檢測模擬通道、流量傳感器通道以及微處理器單元組成,并配有外輸信號接口,輸出各種信號。智能流量轉(zhuǎn)換器中的微處理器按照氣態(tài)方程進行溫壓補償,并進行壓縮因子修正
3.4基本參數(shù)
執(zhí)行標準 | 封閉式管道中氣體流量的測量—《氣體腰輪流量計》(JB/T7385-94) |
儀表口徑及連接方式 | 25、40、50、65、80、100、125、150、200、250采用法蘭連接 |
精度等級 | ±1.5%R(±1%R需特制)* |
儀表材質(zhì) | 表體:鑄鋁或鑄鐵;轉(zhuǎn)子:優(yōu)質(zhì)鋁合金;轉(zhuǎn)換器:鑄鋁 |
使用條件 | 介質(zhì)溫度:-10℃~+60℃ 環(huán)境溫度:-30℃~+60℃ 相對濕度:5%~90% 大氣壓力:86~106KPa |
工作電源 | A.外電源:+24VDC±15%,紋波≤±5%,適用于4-20mA輸出、脈沖輸出、RS485等 B.內(nèi)電源:1節(jié)3.6VDC鋰電池,當電壓低于2.0時出現(xiàn)欠壓指示。 |
整機功耗 | A.外電源:<1W; B.內(nèi)電源:平均功耗≤1W,可聯(lián)系使用三年以上。 |
輸出信號功能 | ①脈沖信號、②4 ~ 20mA電流信號、③IC卡控制信號 |
通訊輸出功能 | ④RS485通訊 |
實時記錄功能 | ⑤起停記錄、日記錄、定時間間隔記錄 |
信號線接口 | 內(nèi)螺紋M20×1.5或其他 |
防爆等級 | ExibIICT4 |
防護等級 | IP65 |
3.5始動流量及流量上限
通徑 | 儀表型號 | 起步流量 | 流量上限 | 壓損 | 耐壓等級 | 精度 | 量程比 | 材質(zhì) |
(mm) | ------- | (m3/h) | (m3/h) | (Pa) | (Mpa) | ------- | ------- | ------- |
DN25 | DS-WYLLQ-16 | 0.03 | 16 | 120 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 |
DN40 | DS-WYLLQ-20 | 0.05 | 20 | 130 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 |
DS-WYLLQ-25 | 0.05 | 25 | 130 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-30 | 0.05 | 30 | 130 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-40 | 0.07 | 40 | 180 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 30:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-60 | 0.08 | 60 | 180 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 60:1 | 鋁合金 | |
DN50 | DS-WYLLQ-20 | 0.05 | 20 | 140 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 |
DS-WYLLQ-25 | 0.05 | 25 | 140 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-30 | 0.05 | 30 | 140 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 20:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-40 | 0.07 | 40 | 200 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 30:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-60 | 0.08 | 60 | 200 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 60:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-85 | 0.08 | 85 | 210 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 70:1 | 鋁合金 | |
DN65 | DS-WYLLQ-100 | 0.1 | 100 | 220 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 70:1 | 鋁合金 |
DS-WYLLQ-140 | 0.1 | 140 | 220 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 120:1 | 鋁合金 | |
DN80 | DS-WYLLQ-100 | 0.1 | 100 | 220 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 70:1 | 鋁合金 |
DS-WYLLQ-140 | 0.1 | 140 | 240 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 100:1 | 鋁合金 | |
DS-WYLLQ-200 | 0.1 | 200 | 240 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 100:1 | 鋁合金 | |
DN100 | DS-WYLLQ-300 | 0.18 | 300 | 280 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 110:1 | 鋁合金 |
DS-WYLLQ-450 | 0.18 | 450 | 300 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 110:1 | 鋁合金 | |
DN150 | DS-WYLLQ-650 | 0.5 | 650 | 580 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 80:1 | 鑄鐵 |
DS-WYLLQ-1000 | 0.6 | 1000 | 600 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 80:1 | 鑄鐵 | |
DN200 | DS-WYLLQ-1600 | 0.8 | 1600 | 850 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 60:1 | 鑄鐵 |
DN250 | DS-WYLLQ-3000 | 2 | 3000 | 1050 | 1.0/1.6 | 1.5/1.0 | 40:1 | 鑄鐵 |
氣體羅茨流量表選型(請先參考‘3.5始動流量及流量上限’表格)
型號 | 說明 | |||||
DS-WYLLQ | —□ | /□ | /□ | /□ | /□ | |
最大流量 | 16 | 16m3/h(最大流量) | ||||
20 | 20 m3/h(最大流量) | |||||
25 | 25 m3/h(最大流量) | |||||
30 | 30 m3/h(最大流量) | |||||
40 | 40 m3/h(最大流量) | |||||
60 | 60 m3/h(最大流量) | |||||
85 | 85 m3/h(最大流量) | |||||
100 | 100 m3/h(最大流量) | |||||
140 | 140 m3/h(最大流量) | |||||
200 | 200 m3/h(最大流量) | |||||
300 | 300 m3/h(最大流量) | |||||
450 | 450 m3/h(最大流量) | |||||
650 | 650 m3/h(最大流量) | |||||
1000 | 1000 m3/h(最大流量) | |||||
1600 | 1600 m3/h(最大流量) | |||||
3000 | 3000 m3/h(最大流量) | |||||
公稱通徑 | 25 | DN25mm | ||||
40 | DN40mm | |||||
50 | DN50mm | |||||
65 | DN65mm | |||||
80 | DN80mm | |||||
100 | DN100mm | |||||
125 | DN125mm | |||||
150 | DN150mm | |||||
200 | DN200mm | |||||
250 | DN250mm | |||||
轉(zhuǎn)換器類型 | N | 基表(無顯示、無輸出) | ||||
C | 智能數(shù)顯表頭(溫度壓力定值補償,雙供電,輸出脈沖信號,IC卡控制信號,4-20mA電流信號) | |||||
D | 智能溫壓補償表頭(溫度壓力實時補償,雙供電,可輸出脈沖信號、電流信號、IC卡控制信號,選配485通訊接口及機械表頭) | |||||
精度等級 | P?1 | 1.0級精度 | ||||
P2 | 1.5級精度 | |||||
耐壓等級 | WP1 | 1.0Mpa | ||||
WP2 | 1.6Mpa |
是我公司生產(chǎn)的新型氣體檢測報警器,本機采用高精密氣體傳感器和微控制器技術(shù),結(jié)合精良SMD工藝制造而成,具有良好的重復(fù)性和溫濕度特性、使用壽命長、操作方便等優(yōu)點。在各種不同的環(huán)境中配置不同傳感器可作為不同氣體的檢測報警器,如常見的可燃氣體報警器、可燃氣體探測器、有毒氣體報警器、有毒氣體探測器、氨氣泄漏報警器、氨氣泄漏探測器、氨氣報警器、氨氣探測器、氨氣濃度檢測器、氨氣濃度報警器等。
KB-501SG點型 氣體探測器將空氣中指定測量氣體濃度信號轉(zhuǎn)化數(shù)字信號顯示,采用三線制4-20mA的電流信號輸出方式,具有傳輸距離遠、抗干擾性能好等特點。并具有二級聲光報警功能,探測到有毒氣體泄漏會迅速對泄漏氣體進行檢測報警,確保人員安全。
KB-501SG點型 氣體探測器適用于煉油、化工、液化氣站、燃氣、鋼鐵、鍋爐房、加油加氣站、噴漆房等存在易燃易爆、有毒有害氣體的各種 環(huán)境。 kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
*高靈敏度、長壽命、低漂移等優(yōu)點,工作穩(wěn)定;
*傳感器故障自檢功能,及時更換傳感器,更安全;
*強大的聲光報警功能;
*高亮度LED顯示,直觀清晰;
*兩級濃度報警,具有繼電器輸出功能;
*4~20mA標準模擬輸出和RS485數(shù)字輸出,適應(yīng)各類控制儀表和DCS、PLC系統(tǒng);
*紅外遙控調(diào)整方式,不開蓋即可對探測器進行調(diào)整,安全方便;
*采用隔爆式設(shè)計,適用于危險條件1、2區(qū); kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
鄭州科薩電子有限公司成立于2002年,是一家專業(yè)生產(chǎn)可燃氣體報警器系例,易燃、易爆、有毒、有害以及危險氣體泄漏檢測報警儀器的高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有一支專業(yè)、精干的研發(fā)隊伍和熱情、周到的服務(wù)隊伍。公司成立十幾年以來專業(yè)致力于工業(yè)安全防護儀器儀表的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售,業(yè)務(wù)覆蓋全國各省市轄區(qū)。
公司研發(fā)生產(chǎn)的便攜式氣體報警儀、固定式氣體檢測報警器系列產(chǎn)品包括: 便攜式氣體檢測儀、固定式氣體報警器、四合一氣體檢測儀、氣體檢漏儀、泵吸式氣體檢測儀、氣體報警控制器、六氟化硫(SF6)氣體在線監(jiān)測系統(tǒng)等多種產(chǎn)品。適用氣體涵蓋可燃氣體、有毒氣體、氧氣等各類氣體泄漏場合。
公司生產(chǎn)基地設(shè)立在美麗的“綠城”鄭州,在北京、上海、深圳、武漢、重慶、西安、沈陽設(shè)立有服務(wù)辦事處,具備對外進出口貿(mào)易資格,在國際市場上占據(jù)有一席之地。
多年來,公司憑借過硬的技術(shù)優(yōu)勢、行業(yè)優(yōu)勢、產(chǎn)品優(yōu)勢、價格優(yōu)勢以及完善、熱情的售前、售后服務(wù),在石油、化工、燃氣、電力、節(jié)能、環(huán)保、鋼鐵、冶金、醫(yī)藥、食品等行業(yè)都建立了良好、密切的長期合作關(guān)系,獲得了市場認可!
優(yōu)良的產(chǎn)品源自成熟的企業(yè),良好的合作來自真誠的理念。我們以敬業(yè)的熱忱和對社會責任的認知,與各界攜手共進!
公司通過了ISO9001質(zhì)量認證和對外貿(mào)易經(jīng)營權(quán),具備完善的行業(yè)資質(zhì)?扑_人永遠堅持質(zhì)量求生存,信譽求發(fā)展的硬道理,讓我們攜手科薩共創(chuàng)美好明天!
認識科薩產(chǎn)品,讀懂科薩文化,品味科薩人生,共創(chuàng)科薩輝煌! kb501sg型有毒可燃氣體檢測報警儀器KB501SG固定式氣體監(jiān)測系統(tǒng)KB501X氣體報警裝置
IQ-350便攜式單種氣體檢測儀 |
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HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烘箱 產(chǎn)品型號: HMDS-6090 產(chǎn)品名稱: HMDS預(yù)處理系統(tǒng)/充HMDS氣體真空烘箱/HMDS真空烤箱
產(chǎn)品詳細資料:
產(chǎn)品型號: HMDS-6090 HMDS 預(yù)處理系統(tǒng) 產(chǎn)品特點:1、機外殼采用醫(yī)用級不銹鋼316L材質(zhì)制造,內(nèi)膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。2、箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。3、微電腦智能控溫儀,具有設(shè)定,測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,控溫精確,。4、智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。5、HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。6、整個系統(tǒng)采用材料制造,無發(fā)塵材料,適用100 級光刻間凈化環(huán)境。
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù):電源電壓:AC 380V±10%/50Hz±2%輸入功率:3000W控溫范圍:室溫+10℃-250℃溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:±0.5℃達到真空度:133Pa容積:90L工作室尺寸(mm):450*450*450外形尺寸(mm):615*590*1470載物托架:2塊時間單位:分鐘真空泵:國內(nèi)品牌,上海“慕鴻”型號:DM-4,旋片式油泵。
產(chǎn)品特點: 在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。真空烘箱光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況 HMDS 預(yù)處理系統(tǒng)的必要性: 在半導體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。 HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)的原理: HMDS-6000 預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
HMDS-6000系列預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程: 首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內(nèi)真牢度達到某一高真空度后,開始充人氮氣,充到達到某低真空度后,冉次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。真空烘箱然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設(shè)定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當達到設(shè)定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應(yīng),在硅片表而生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(較大)阻止其進一步反應(yīng)。 尾氣排放等:多余的HMDS蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到專用廢氣收集管道。在無專用廢氣收集管道時需做專門處理。 上海和呈儀器制造有限公司/57188687/60457408/60457409免費咨詢熱線:400-880-6667企業(yè)QQ:4008806667銷售部地址:上海市奉賢區(qū)綠地翡翠國際廣場1號樓1020
HASUC-干燥設(shè)備網(wǎng)服務(wù)中心:上海市奉賢區(qū)翡翠國際廣場1號樓10樓生產(chǎn)基地:上海市奉賢區(qū)浦衛(wèi)公路6955號 公司網(wǎng)址:http://www.shhasuc.com客服熱線:021-60457409HASUC產(chǎn)品:水浴式恒溫培養(yǎng)振蕩器、恒溫搖床、恒溫振蕩器 、搖瓶機、光照培養(yǎng)搖床、搖床、振蕩器、大容量全溫恒溫培養(yǎng)搖床、立式雙層恒溫培養(yǎng)搖床、臥式大容量恒溫振蕩器、振蕩培養(yǎng)箱、上海恒溫培養(yǎng)搖床廠家
以下是部分島津耗材配件,由于耗材種類繁多,沒有一一列舉,更多其他耗材配件歡迎咨詢。
超凈過濾器套件P/N | 描 述 |
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Shimadzu Carrier Gas Filter Kit Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter | |
Shimadzu Gas Filter Kit for GC-FID/FPD Includes one 3-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, two Hydrocarbon/Moisture filters for H2 and Air | |
Shimadzu Gas Filter Kit for GC-ECD Includes one 2-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, one Oxygen/Moisture filter for Nitrogen | |
Shimadzu Gas Filter Kit for compressed air Includes one 3-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon filter for Carrier gas, one Hydrocarbon/Moisture filter for H2, one Hydrocarbon filter for Compressed air | |
Shimadzu Makeup Gas Filter Kit for separate makeup gas Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Hydrocarbon/Moisture filter | |
Shimadzu Carrier Gas Filter Kit for GC-MS Includes one 1-position base plate with M type connectors, one Oxygen/Moisture/Hydrocarbon Helium-specific filter |
P/N | 描 述 |
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227-37011-01 | Shimadzu Carrier Gas Filter (Oxygen/Moisture/Hydrocarbon) |
227-37011-02 | Shimadzu Combi Gas Filter (Hydrocarbon/Moisture) |
227-37011-04 | Shimadzu Combi Gas Filter for Nitrogen (Oxygen/Moisture) |
227-37011-03 | Shimadzu Single Gas Filter for Air (Hydrocarbon) |
227-37011-05 | Shimadzu Helium-specific Carrier Gas Filter (Oxygen/Moisture/Hydrocarbon) |
P/N | 描 述 |
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Base plate 1-position with M type connectors | |
Base plate 2-position with M type connectors | |
Base plate 3-position with M type connectors | |
通用環(huán)形螺母 (1 pc) | |
底座O型圈 (10 pcs inlet, 10 pcs outlet) | |
Flush蓋 (2 pcs) | |
島津M型接頭 (1 pc inlet, 1 pc outlet) | |
電子指示器 | |
檢漏液 (240 mL) | |
壓縮空氣用水分捕集器 |
P/N | 描 述 |
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Gas Supply Pipe ASSY for 3-position filter kit Includes three gas supply pipes for Shimadzu GC side, one left-thread Hydrogen gas supply pipe for cylinder side. | |
Carrier Gas Supply Pipe (5 m) | |
Hydrogen Gas Supply Pipe (5 m, right thread) | |
Air Supply Pipe (1 pc of 2 m, 1 pc of 1 m) |
產(chǎn)品主要銷售地區(qū):東北地區(qū)、內(nèi)蒙、新疆、河北、華中、江浙一帶、華南地區(qū)等。產(chǎn)品采用CPU及高精度A/D轉(zhuǎn)換器設(shè)計而成,有【便攜式】跟【固定式】兩種!颈銛y式】可燃氣體報警器,可燃氣體檢測儀:公司型號:HD-900,該儀器使用方便,手機大小,走到哪里測到哪里,適合隨身佩戴或者不固定的場所如下水道等!竟潭ㄊ健靠扇細怏w報警器,可燃氣體檢測儀:公司型號:HD-700\\800一個主機可同時掛接多個探頭,當被檢測氣體濃度超過報警設(shè)定值時,儀器發(fā)出聲光二級報警信號,同時啟動外部聯(lián)動,從而阻止或降低現(xiàn)場的危險程度,達到排除險情的目的。這種型號適合24小時檢測,從而現(xiàn)場的人身安全。
產(chǎn)品特點:HD-700\\800使用高速CPU處理器,能夠快速精確地處理系統(tǒng)任務(wù),系統(tǒng)的性。LCD液晶屏幕,可實時顯示探測器的濃度、狀態(tài)。使用485通訊協(xié)議,性高。4組可編程的繼電器,無源常開、常閉觸點,觸點容量240V5A采用模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計,便于系統(tǒng)維護?赏ㄟ^計算機實現(xiàn)本地監(jiān)控及遠程監(jiān)控,探測器運行狀態(tài)數(shù)據(jù)可存儲。實現(xiàn)可燃與毒性氣體探測器的混合配置。選購配件備電電源轉(zhuǎn)化模塊。中繼器模塊聯(lián)動控制模塊執(zhí)行器
技術(shù)參數(shù):工作電壓:AC220V±10%使用溫度:-20℃~60℃使用濕度:≤95%RHLCD液晶屏幕顯示:pp外型尺寸m/%LEL報警系統(tǒng):聲光報警報警音量:≥75dB傳輸距離:≤2000m外形尺寸:370mm(L)×305mm(W)×90mm(H)重 量:≤4.5kg檢測原理:電化學式/半導體式/催化燃燒式