離子濺射儀產(chǎn)品及廠家
深反應離子刻蝕（drie）及低溫等離子體增強化學氣相沉積（pevcd）等離子處理系統(tǒng)主要性能簡介. 等離子工藝處理的研發(fā)需要多功能且可靠的設備。為了滿足等離子研究日新月異的要求，用戶選購的系統(tǒng)設備滿足最大范圍的等離子工藝參數(shù)需要，工藝驗證需要極其高的可重復性，必須方便改造用于新的等離子工藝需要。我們相信il裝載互鎖式（load lock）感應耦合等離子（icp）蝕刻/沉積等離子系統(tǒng)滿足這些非常
更新時間:2025-12-02
ps系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)重新定義了圓筒式等離子處理工藝。該等離子處理系統(tǒng)基于模塊化設計制造，采用一款通用的真空處理艙及機箱，多款電極模塊方便整體系統(tǒng)的組裝及配置。ps系列圓筒式等離子處理系統(tǒng)帶給用戶方便操作，提供多種等離子處理工藝、方便維護及性價比高的系統(tǒng)比業(yè)內(nèi)氣體等離子處理系統(tǒng)更具競爭力。
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