國內(nèi)的電感耦合等離子體都是基于中頻13.56mhz的電源發(fā)生器,等離子體密度較低,而且是螺旋管式,主要用于等離子體刻蝕,不適宜用于沉積高質(zhì)量薄膜。巨納集團nextcvd系列多功能寬密度等離子體cvd(icp-lp-pe-cvd)結合了電感耦合和電容耦合輝光放電的優(yōu)點,可在寬密度工藝范圍(109-1013 cm-3)實現(xiàn)穩(wěn)定的等離子體輔助cvd,具有優(yōu)良的材料處理性能和廣泛的應用范圍,是目前全球功能最強大的等離子體cvd系統(tǒng)。
更新時間:2025-06-25