高溫壓力傳感器廣泛應(yīng)用于火箭發(fā)動(dòng)機(jī)、航空發(fā)動(dòng)機(jī)、重型燃?xì)廨啓C(jī)、燃煤燃?xì)忮仩t等動(dòng)力設(shè)備燃燒室的壓力監(jiān)測(cè)。經(jīng)過二十多年的研究,高溫壓力傳感技術(shù)領(lǐng)域取得了豐碩的成果.在對(duì)敏感芯片主要材料分類的基礎(chǔ)上,討論了高溫壓力傳感器的研究現(xiàn)狀。重點(diǎn)分析了基于soi、sic、藍(lán)寶石、共燒陶瓷、壓電晶體、sicn陶瓷等材料的高溫壓力傳感器的特點(diǎn)和局限性,以及國(guó)內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀。
更新時(shí)間:2025-10-23