全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣
質量流量控制器有以下優(yōu)點:·瞬間啟動無需預熱,控制相應時間≤2ms(典型)
·流體控制精度 ±(0.5%Rdg+0.2%F.S)
·配比以最小比例試運行做配比試驗,氣體損耗更小。
·配比過程中可在控制室做微調質量流量計,達到更高的精度。
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣備工作原理;
進入配比柜的氫氣、氮氣經配氣進口減壓穩(wěn)壓后,由各路數字氣體流量計指示各種氣體流量、壓力,然后經PLC計算控制需要注入的量,來達到配比需要的混合含量。配比在后級流量變化時自動調節(jié)需要加入的氫氣、氮氣的含量,并由分析儀實時監(jiān)測配比氣體的百分含量比。即開即用,無需預熱,在恒定的配氣比例狀態(tài)下,無需值守,程序自主完成,配比柜采用觸摸屏顯示并控制配氣參數,有以下幾個優(yōu)點。
1、采用數字流量計,實時顯示各路氣體的用氣量。
2、進口壓力有波動時,自動調節(jié)加入量并保持配比含量。
3、高精度壓力傳感器實時控制并監(jiān)測混合氣體壓力。
4、設各路報警,最大限度保證配比器的正常運行。
5,配氣裝置采用整體式結構,配置485端子輸出,完成遠程控制需要
二 、 主要技術指標;
1、 原料氣
氮氣壓力 ≥0.4Mpa
氫氣壓力 ≥0.4Mpa
2、 工作壓力 ≤0,3MPa
3、 混合氣流量 ≥50NM3/h
混合氣含氫量 0-20%可調
混合氣壓力 0.3MPa
混合氣精度 ±1.%(滿量程)
4、 裝機功率 200W
5、 電源 220V、50HZ
6, 控制柜外型尺寸 1000×700×1500mm
7、 設備顏色 米白色
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣設備主要組成及功能;
1,氣體流量計;是本系統(tǒng)的控制機構,其動作直接受執(zhí)構控制。是混合配比的關鍵部件。
2,穩(wěn)壓減壓控制閥;控制壓力及流量、混合氣壓力主要穩(wěn)壓部件。
3,氫氣分析儀;是本設備的檢測機構(小流量計是氫分儀的 流量控制器),顯示配比氣中的百分比含量。
4,開關閥門;控制氣體的通斷,停止設備運行。
5,壓力傳感器;檢測混合氣壓力,并配合閥門調節(jié)壓力。
6,混合罐;混合氣混合罐,把各路氣體混合均勻。
7,觸摸屏;顯示實時流程、配氣參數、報警參數等。
8,電氣組合;控制操作設備,直觀顯示工作流程、工作狀態(tài)。
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣采用上位機通訊控制,直觀顯示配比過程中的具體參數。
·以質量流量計做現場控制裝置,現場可以直接查看配比實時流量。
·通過與質量流量計通訊方式遠程控制室進行操作,精度無損耗。
·控制操作采用一鍵啟動,預保存好需要的配比比例。
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣取樣分析采用現場測量,遠傳信號。
·分析儀器采用兩級組成,更快更準的顯示配比比例。
·分析儀器采用儀器采用了先進的單光源,單管隔半氣室以及高穩(wěn)定性,高可靠性的微音薄膜檢測器和新型熱電檢測器,該產品的最大特點是高穩(wěn)定性(儀器長期工作穩(wěn)定,零點漂移小)高可靠性(固體檢測器)和高選擇性。
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器微電子封裝氣體混合配比氣采用優(yōu)質壓力穩(wěn)壓閥,氣源波動較大時對配比無影響。
·采用進口壓力調節(jié)閥,做氣源配氣進口的壓力整定閥,氣源更穩(wěn)定。
關鍵詞:
全自動混合配氣設備半導體氫氮混合配比器 微電子封裝氣體混合配比氣
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